Projeye Genel Bakış
Proje Türü: Yarı İletken Üretim Hattı için Kritik Güç Kalitesinin İyileştirilmesi
Bitiş Tarihi: Ocak 2024
Yer: Tampines Endüstri Parkı, Singapur
Müşteri: Lider Küresel Yarı İletken Üreticisi (Singapur Tesisi)
Teknik Zorluk ve Çözüm
Zorluk: Sınıf 1000 temiz oda ortamında hassas litografiyi ve test ekipmanını etkileyen harmonik paraziti, geçici voltaj geçişlerini ve topraklama döngüsü akımlarını ortadan kaldırmak. Çözüm, tesisin teknik galerilerindeki alan kısıtlamaları nedeniyle minimum elektromanyetik girişim (EMI) ve kompakt ayak izi ile ultra kararlı, elektriksel olarak izole edilmiş güç gerektiriyordu.
Çözüm: TSTYNICE, gelişmiş koruma ve iç mekan için optimize edilmiş termal yönetim sistemlerine sahip, özel olarak tasarlanmış üç fazlı izolasyon transformatörlerini tedarik etti ve kurdu.
Sağlanan Ekipman
3 Fazlı İzolasyon Transformatörü (Yüksek Hassasiyet): 300 kVA, Delta-Wye Konfigürasyonu
3 Fazlı İzolasyon Trafosu (Proses Gücü): 575 kVA, Delta-Wye Konfigürasyonu
Gerilim Oranı (Her İki Ünite): 400V ±%1 / 400V (Yüzen İkincil Nötr)
Adet: Her biri 1 ünite (300 kVA & 575 kVA)
Muhafaza: Korozyon önleyici kaplamalı IP31 dereceli iç mekan muhafazası (RAL 7035)
Soğutma: ONAN + Cebri Hava (Entegre Termostatik Kontrollü Fanlar)
Montaj: İç mekanda, titreşim sönümleyici pedlerle zemine monte
Temel Teknik Özellikler ve Özellikler
Elektrostatik Koruma (Faraday Kalkanı): Ortak mod gürültüsünü ve yüksek frekanslı geçici olayları (>60 dB zayıflama) bastırmak için birincil ve ikincil sargılar arasında üç katmanlı, bakır folyolu elektrostatik koruma.
Düşük Kaçak Manyetik Alan: Kaçak manyetik akıyı (1 m'de <5 mT) en aza indirecek şekilde optimize edilmiş çekirdek ve sargı tasarımı, bitişikteki hassas enstrümantasyonla paraziti önler.
Gelişmiş Yalıtım (Sınıf H): Singapur'un tropik ikliminde yüksek termal dayanıklılık ve güvenilirlik için 180°C dereceli yalıtım sistemi.
Hassas Gerilim Düzenlemesi: Yüksüz durumdan tam yüke kadar %1,5'ten daha iyi gerilim regülasyonu sağlamak için sıkı empedans uyumu (±%2) ve yüksek kaliteli, tanecikli silikon çelik çekirdeklerin kullanımı.
Sessiz Çalışma: Değişken hız kontrolü için EC (Elektronik Olarak Değiştirilmiş) teknolojisiyle donatılmış fanlar, normal çalışma sırasında gürültü seviyelerinin 55 dB(A)'nın altında olmasını sağlar.
Entegre İzleme: Sargı sıcaklığının izlenmesi için alarm ve tetikleme kontaklarıyla birlikte dahili PT100 sensörleri. Gerilim, akım ve sıcaklık için yerel dijital ekran.
Uyumluluk: SS 323 (Singapur Standartları), IEC 61558-1 ve IEEE C57.12.01'i karşılayacak veya aşacak şekilde tasarlanmış ve test edilmiştir.
Proje Yürütme
Aşamalı Teslimat ve Kurulum: Önce proses hattı için 575 kVA'lık ünitenin, ardından hassas cihazlar için 300 kVA'lık ünitenin kurulumu için müşterinin tesis kapatma programıyla koordinasyon sağlanarak üretim kesintisi en aza indirilir.
Özel Arayüz Entegrasyonu: Müşterinin mevcut PDU'suna (Güç Dağıtım Birimi) doğrudan bağlantı için yalıtımlı bakır baralarla yapılandırılmış ikincil terminaller, kablo pabuçlarını ortadan kaldırır ve bağlantı noktalarını azaltır.
Sahaya Özel Uyarlamalar: Muhafaza tasarımı, tesisin sıkı kablo yönlendirme yollarına uyum sağlamak için ön ve arka çıkarılabilir panelleri ve üstten kablo giriş seçeneklerini içeriyordu.
Kapsamlı Testler: Teslimat öncesi testler, performans özelliklerini doğrulamak için rutin testleri, özel darbe testlerini, ısınma testlerini ve en önemlisi koruma etkinliği testlerini ve yük altında THD ölçümünü içeriyordu.
Operasyonel Sonuçlar
Güç Kalitesi Büyük Ölçüde İyileştirildi: Ortak mod gürültüsünde %85'in üzerinde ölçülen azalma, levha inceleme sistemlerinde ara sıra meydana gelen arızaları ortadan kaldırır.
Ekipman Çalışma Süresi Geliştirildi: Fotolitografi aracının güç sorunlarıyla ilgili Arızalar Arasındaki Ortalama Süre (MTBF) %30'un üzerinde arttı.
Kararlı Termal Performans: Cebri hava soğutma sistemi, 28°C ortam sıcaklığında sürekli %90 yükleme sırasında bile sargı sıcaklıklarını 65°C artış dahilinde tutar.
Alan Verimliliği: Kompakt, entegre kasa tasarımı, müşterinin başlangıçtaki ayrı transformatör ve kanal planına kıyasla yaklaşık %15 taban alanı tasarrufu sağladı.
