Prezentare generală a proiectului
Tip de proiect: Îmbunătățirea calității energiei critice pentru linia de producție de semiconductori
Data de finalizare: ianuarie 2024
Locație: Parcul Industrial Tampines, Singapore
Client: Principal producător mondial de semiconductori (Facilitatea din Singapore)
Provocare tehnică și soluție
Provocare: Eliminarea interferențelor armonice, tranzitorii de tensiune și curenții buclei de masă care afectează litografiile sensibile și echipamentele de testare într-un mediu de cameră curată Clasa 1000. Soluția necesita putere ultra-stabilă, izolată electric, cu interferențe electromagnetice minime (EMI) și amprentă compactă din cauza constrângerilor de spațiu din galeriile tehnice ale unității.
Soluție: TSTYNICE a furnizat și instalat transformatoare de izolare trifazate special concepute, cu ecranare îmbunătățită și sisteme de management termic optimizate pentru interior.
Echipament furnizat
Transformator de izolare trifazat (de înaltă precizie): 300 kVA, configurație Delta-Wye
Transformator de izolare trifazat (putere de proces): 575 kVA, configurație Delta-Wye
Raport de tensiune (ambele unități): 400V ±1% / 400V (neutru secundar flotant)
Cantitate: 1 unitate fiecare (300 kVA & 575 kVA)
Carcasă: carcasă interioară cu clasificare IP31 cu acoperire anticoroziune (RAL 7035)
Răcire: ONAN + aer forțat (ventilatoare integrate controlate termostatic)
Montare: în interior, montat pe podea cu plăcuțe de amortizare a vibrațiilor
Caracteristici și specificații tehnice cheie
Ecranare electrostatică (Faraday Shield): ecranare electrostatică cu trei straturi, folie de cupru, între înfășurările primare și secundare pentru a suprima zgomotul de mod comun și tranzitorii de înaltă frecvență (atenuare > 60 dB).
Câmp magnetic parazit redus: designul miezului și înfășurării optimizate pentru a minimiza fluxul magnetic parazit (<5 mT la 1 m), prevenind interferențele cu instrumentele sensibile adiacente.
Izolație îmbunătățită (Clasa H): sistem de izolare la 180°C pentru rezistență termică ridicată și fiabilitate în climatul tropical din Singapore.
Reglare de precizie a tensiunii: potrivire strânsă a impedanței (± 2%) și utilizarea miezurilor de oțel siliconic de înaltă calitate, orientate spre granulație pentru a asigura o reglare a tensiunii mai bună de 1,5% de la gol la sarcină completă.
Funcționare silențioasă: Ventilatoare echipate cu tehnologie EC (comutată electronic) pentru controlul vitezei variabile, asigurând niveluri de zgomot sub 55 dB(A) în timpul funcționării normale.
Monitorizare integrată: Senzori PT100 încorporați pentru monitorizarea temperaturii înfășurării, cu contacte de alarmă și declanșare. Afișaj digital local pentru tensiune, curent și temperatură.
Conformitate: Proiectat și testat pentru a îndeplini sau depăși SS 323 (Standarde din Singapore), IEC 61558-1 și IEEE C57.12.01.
Executarea Proiectului
Livrare și instalare în etape: Coordonarea cu programul de oprire a fabricii al clientului pentru a instala mai întâi unitatea de 575 kVA pentru linia de proces, urmată de unitatea de 300 kVA pentru instrumentele de precizie, minimizând întreruperea producției.
Integrare interfață personalizată: Terminale secundare configurate cu bare colectoare izolate din cupru pentru conectarea directă la PDU (Unitatea de distribuție a energiei) existentă a clientului, eliminând capetele de cablu și reducând punctele de conectare.
Adaptări specifice amplasamentului: Designul carcasei a inclus panouri detașabile față și spate și opțiuni de intrare superioară a cablurilor pentru a se alinia cu traseele strânse ale cablurilor din unitate.
Testare cuprinzătoare: testele înainte de livrare au inclus teste de rutină, teste speciale de impuls, teste de funcționare la căldură și, cel mai important, teste de eficacitate a ecranării și măsurarea THD sub sarcină pentru a valida specificațiile de performanță.
Rezultate operaționale
Calitatea puterii îmbunătățită dramatic: Reducerea măsurată a zgomotului în modul comun cu peste 85%, eliminând defecțiunile sporadice ale sistemelor de inspecție a plachetelor.
Timp de funcționare a echipamentului îmbunătățit: timpul mediu între defecțiuni (MTBF) al instrumentului de fotolitografie legat de problemele de alimentare a crescut cu peste 30%.
Performanță termică stabilă: Sistemul de răcire cu aer forțat menține temperaturile înfășurării cu o creștere de 65°C chiar și în timpul încărcării susținute de 90% la o temperatură ambientală de 28°C.
Spațiu eficient: Designul compact, integrat al carcasei a economisit aproximativ 15% spațiu pe podea în comparație cu planul inițial separat de transformator și conducte al clientului.
