Огляд проекту
Тип проекту: критичне підвищення якості електроенергії для лінії виробництва напівпровідників
Дата завершення: січень 2024 року
Розташування: Tampines Industrial Park, Сінгапур
Клієнт: провідний світовий виробник напівпровідників (завод у Сінгапурі)
Технічна проблема та рішення
Завдання: усунути гармонічні перешкоди, перехідні процеси напруги та струми контуру заземлення, що впливають на чутливе обладнання для літографії та тестування в середовищі чистих приміщень класу 1000. Рішення вимагало надстабільної, електрично ізольованої потужності з мінімальними електромагнітними перешкодами (EMI) і компактного розміру через обмеження простору в технічних галереях об’єкта.
Рішення: компанія TSTYNICE поставила та встановила спеціально сконструйовані трифазні розділові трансформатори з покращеним екрануванням та оптимізованою системою керування температурою всередині приміщень.
Обладнання в комплекті
3-фазний ізоляційний трансформатор (високоточний): 300 кВА, конфігурація дельта-зірка
3-фазний ізоляційний трансформатор (технологічна потужність): 575 кВА, конфігурація «дельта-зірка»
Коефіцієнт напруги (обидві одиниці): 400 В ±1% / 400 В (плаваюча вторинна нейтраль)
Кількість: по 1 шт. (300 кВА та 575 кВА)
Корпус: внутрішній корпус з рейтингом IP31 і антикорозійним покриттям (RAL 7035)
Охолодження: ONAN + примусове повітря (вбудовані вентилятори з термостатичним керуванням)
Монтаж: внутрішній, на підлозі з віброгасильними накладками
Основні технічні характеристики та характеристики
Електростатичне екранування (екран Фарадея): тришарове електростатичне екранування з мідної фольги між первинною та вторинною обмотками для придушення синфазного шуму та високочастотних перехідних процесів (>60 дБ затухання).
Низьке розсіяне магнітне поле: конструкція сердечника та обмотки оптимізована для мінімізації розсіяного магнітного потоку (<5 мТл на 1 м), запобігаючи створенню перешкод для сусідніх чутливих приладів.
Покращена ізоляція (клас H): система ізоляції з рейтингом 180°C для високої термічної стійкості та надійності в тропічному кліматі Сінгапуру.
Точне регулювання напруги: точне узгодження імпедансу (±2%) і використання високоякісних серцевин з кремнієвої сталі, що забезпечують регулювання напруги краще ніж на 1,5% від холостого ходу до повного навантаження.
Безшумна робота: вентилятори, оснащені технологією EC (електронно комутовані) для регулювання швидкості, що забезпечує рівень шуму нижче 55 дБ(А) під час нормальної роботи.
Інтегрований моніторинг: вбудовані датчики PT100 для моніторингу температури обмотки з контактами тривоги та відключення. Локальний цифровий дисплей для напруги, струму та температури.
Відповідність: розроблено та перевірено на відповідність або перевищення стандартів SS 323 (Сінгапурські стандарти), IEC 61558-1 та IEEE C57.12.01.
Виконання проекту
Поетапна поставка та встановлення: узгодження з графіком зупинки заводу клієнта, щоб спочатку встановити блок потужністю 575 кВА для технологічної лінії, а потім блок потужністю 300 кВА для точних інструментів, мінімізуючи збої у виробництві.
Інтеграція спеціального інтерфейсу: вторинні термінали, налаштовані з ізольованими мідними шинами для прямого підключення до наявного блоку розподілу живлення (PDU) клієнта, усунення кабельних наконечників і зменшення кількості точок підключення.
Спеціальні адаптації до місця: Конструкція корпусу включала передню та задню знімні панелі та варіанти верхнього кабельного вводу для узгодження з вузькими шляхами прокладки кабелю об’єкта.
Комплексне тестування: тести перед доставкою включали звичайні тести, спеціальні імпульсні тести, тести на нагрів, і, що найбільш критично, тести на ефективність екранування та вимірювання THD під навантаженням для підтвердження характеристик продуктивності.
Операційні результати
Суттєво покращена якість електроенергії: виміряне зниження синфазного шуму більш ніж на 85%, усуваючи спорадичні несправності в системах перевірки пластин.
Збільшення часу безвідмовної роботи обладнання: середній час напрацювання інструменту для фотолітографії (MTBF), пов’язаний із проблемами живлення, збільшився більш ніж на 30%.
Стабільні теплові характеристики: система примусового повітряного охолодження підтримує температуру обмотки в межах 65°C навіть під час тривалого навантаження 90% за температури навколишнього середовища 28°C.
Економія простору: компактна інтегрована конструкція корпусу заощадила приблизно 15% площі в порівнянні з початковим планом клієнта з окремими трансформаторами та повітропроводами.
