Ikhtisar Proyek
Jenis Proyek: Peningkatan Kualitas Daya Penting untuk Lini Produksi Semikonduktor
Tanggal Penyelesaian: Januari 2024
Lokasi: Tampines Industrial Park, Singapura
Klien: Produsen Semikonduktor Global Terkemuka (Fasilitas Singapura)
Tantangan & Solusi Teknis
Tantangan: Untuk menghilangkan interferensi harmonik, transien tegangan, dan arus ground loop yang memengaruhi litografi sensitif dan peralatan pengujian di lingkungan ruang bersih Kelas 1000. Solusi ini memerlukan daya yang sangat stabil dan terisolasi secara elektrik dengan interferensi elektromagnetik (EMI) yang minimal serta ukuran yang ringkas karena keterbatasan ruang di galeri teknis fasilitas tersebut.
Solusi: TSTYNICE memasok dan memasang transformator isolasi tiga fase yang dirancang khusus dengan pelindung yang ditingkatkan dan sistem manajemen termal yang dioptimalkan dalam ruangan.
Peralatan Disediakan
Trafo Isolasi 3 Fasa (Presisi Tinggi): 300 kVA, Konfigurasi Delta-Wye
Trafo Isolasi 3 Fasa (Daya Proses): 575 kVA, Konfigurasi Delta-Wye
Rasio Tegangan (Kedua Unit): 400V ±1% / 400V (Netral Sekunder Mengambang)
Jumlah: masing-masing 1 unit (300 kVA & 575 kVA)
Penutup: Casing dalam ruangan berperingkat IP31 dengan lapisan anti korosi (RAL 7035)
Pendinginan: ONAN + Udara Paksa (Kipas Termostatis Integral yang Dikendalikan)
Pemasangan: Di dalam ruangan, dipasang di lantai dengan bantalan peredam getaran
Fitur & Spesifikasi Teknis Utama
Pelindung Elektrostatis (Perisai Faraday): Pelindung elektrostatis berlapis tiga lapis tembaga antara belitan primer dan sekunder untuk menekan derau mode umum dan transien frekuensi tinggi (atenuasi >60 dB).
Medan Magnet Liar Rendah: Desain inti dan belitan dioptimalkan untuk meminimalkan fluks magnet menyimpang (<5 mT pada 1m), mencegah interferensi dengan instrumentasi sensitif yang berdekatan.
Insulasi yang Ditingkatkan (Kelas H): Sistem insulasi berperingkat 180°C untuk ketahanan dan keandalan termal yang tinggi di iklim tropis Singapura.
Pengaturan Tegangan Presisi: Pencocokan impedansi yang ketat (±2%) dan penggunaan inti baja silikon berorientasi butir bermutu tinggi untuk memastikan pengaturan tegangan lebih baik dari 1,5% dari tanpa beban hingga beban penuh.
Pengoperasian Senyap: Kipas dilengkapi dengan teknologi EC (Electronic Commutated) untuk kontrol kecepatan variabel, memastikan tingkat kebisingan di bawah 55 dB(A) selama pengoperasian normal.
Pemantauan Terintegrasi: Sensor PT100 internal untuk pemantauan suhu belitan, dengan alarm dan kontak trip. Tampilan digital lokal untuk tegangan, arus, dan suhu.
Kepatuhan: Dirancang dan diuji untuk memenuhi atau melampaui SS 323 (Standar Singapura), IEC 61558-1, dan IEEE C57.12.01.
Eksekusi Proyek
Pengiriman & Pemasangan Bertahap: Koordinasi dengan jadwal penghentian pabrik klien untuk memasang unit 575 kVA untuk jalur proses terlebih dahulu, diikuti dengan unit 300 kVA untuk instrumen presisi, sehingga meminimalkan gangguan produksi.
Integrasi Antarmuka Khusus: Terminal sekunder dikonfigurasikan dengan busbar tembaga berinsulasi untuk koneksi langsung ke PDU (Unit Distribusi Daya) klien yang ada, menghilangkan lugs kabel dan mengurangi titik koneksi.
Adaptasi Khusus Lokasi: Desain casing mencakup panel depan dan belakang yang dapat dilepas serta opsi entri kabel atas untuk menyelaraskan dengan jalur perutean kabel yang ketat di fasilitas tersebut.
Pengujian Komprehensif: Pengujian pra-pengiriman mencakup pengujian rutin, pengujian impuls khusus, pengujian pengoperasian panas, dan yang paling penting, pengujian efektivitas pelindung dan pengukuran THD di bawah beban untuk memvalidasi spesifikasi kinerja.
Hasil Operasional
Kualitas Daya Meningkat Secara Dramatis: Mengurangi kebisingan mode umum hingga lebih dari 85%, menghilangkan kesalahan sporadis dalam sistem inspeksi wafer.
Waktu Aktif Peralatan Ditingkatkan: Waktu Rata-Rata Antara Kegagalan (MTBF) alat fotolitografi yang terkait dengan masalah daya meningkat lebih dari 30%.
Kinerja Termal yang Stabil: Sistem pendingin udara paksa mempertahankan suhu belitan dalam kenaikan 65°C bahkan selama pembebanan berkelanjutan 90% pada suhu sekitar 28°C.
Hemat Ruang: Desain casing yang ringkas dan terintegrasi menghemat sekitar 15% ruang lantai dibandingkan dengan rencana awal transformator dan saluran terpisah milik klien.
